Fortschrittliche Lösungen für Fotomasken und Wafer-Handling

In der Halbleiterfertigung, wo die Bearbeitung von Wafern und Fotomasken von entscheidender Bedeutung ist, ist ein Höchstmaß an Sauberkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit ein Muss. Stäubli Roboter sind so konzipiert, dass sie diese strengen Anforderungen erfüllen und die Notwendigkeit einer kontrollierten Umgebung berücksichtigen. Unsere Roboter sind so konstruiert, dass die Partikelemissionen minimiert gehalten werden - ein entscheidender Faktor, da jedes Partikel erhebliche Auswirkungen auf Ihre Produktionserträge haben kann.

Wenn es zum Beispiel um die Montage von Masken-Pellikels geht, wird die Bedeutung der Roboterpräzision noch deutlicher. Stäubli Roboter eignen sich hervorragend für diese anspruchsvolle Aufgabe, denn ihre präzise gesteuerten Bewegungen gewährleisten eine korrekte Ausrichtung, um die Masken für die nachfolgenden Lithografieschritte zu schützen. Darüber hinaus lassen sich diese Roboter aufgrund ihrer kompakten Bauweise nahtlos in die räumlich begrenzten Umgebungen Ihres Reinraums integrieren, ohne an Leistung einzubüßen.

Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Stäubli Roboter für den Reinraum perfekt geeignet sind, um die strengen Standards der Halbleiterindustrie zu erfüllen.