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Das Handling mit Fotomasken gehört zu den wichtigsten Schritten in der Halbleiterverarbeitung. Dieses kleine, aber wertvolle Stück enthält die Blaupause für das Schaltungsmuster, das bei der Fotolithografie auf den Wafer gedruckt werden soll. Genauigkeit ist in diesem Prozess von größter Bedeutung.
Bei den äußerst heiklen Aufgaben des Aufbringens des Retikels, der Montage des Pellikels sowie der Reinigung und der Inspektion zeichnen sich Stäubli Roboter durch geringste Vibrationen, sanfte Bewegungsabläufe, hohe Bahngenauigkeit sowie eine ISO 2-Reinraumklassifizierung aus.
