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Halbleitertechnik

Steigern Sie die Performance in der Halbleiterfertigung mit Stäubli Reinraum-Roboterlösungen

Die Elektronik- und Halbleiterindustrien stellen hohe Anforderungen an Präzision, Geschwindigkeit und niedrige Partikelemissionen. Um diese Bedürfnisse zu erfüllen, bietet Stäubli eine Reihe von Reinraum-Roboterarmen an, die speziell für hochsensible Anwendungen entwickelt wurden. Unsere Roboter sind in der Lage, Siliziumwafer, Wafer-Carrier, Fotomasken und Panels während der gesamten Wertschöpfungskette der Halbleiterfertigung mit extremer Genauigkeit, hoher Geschwindigkeit und sanften Bewegungen zu handhaben.

Anforderungen an die Robotik für die Halbleiterindustrie

Sauberkeit mit extrem geringer Partikelemission

Kompatibel zur Reinraumklasse ISO 2 und ISO 4, um mögliche Schäden durch kleinste Partikel vom Roboter zu vermeiden.

Geschwindigkeit, Präzision und sanfte Bewegungsabläufe

Sicheres Handling empfindlicher Produkte bei gleichbleibend hoher Leistung und gleichbleibender Qualität.

Langfristige Zuverlässigkeit

Behält die Spitzenleistung über Jahre hinweg bei. Geringere Wartungsfrequenz erforderlich.

Geringer Platzbedarf

Kompaktes Design, geeignet für kleine Räume.

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