Solutions avancées pour la manipulation de photomasques et de wafers

Dans la fabrication de semi-conducteurs, où le traitement des wafers et des photomasques est crucial, atteindre un niveau de propreté, de précision et de fiabilité optimal est essentiel. Les robots Stäubli sont conçus pour répondre à vos exigences strictes, avec une compréhension approfondie de la nécessité d'environnements contrôlés. Nos robots sont conçus pour minimiser les émissions de particules, un facteur crucial, car toute particule peut avoir des répercussions importantes sur vos rendements de production.

Par exemple, pour le montage de pellicules de masque, l'importance de la précision robotique est encore plus grande. Les robots Stäubli excellent dans cette tâche délicate, grâce à leurs mouvements contrôlés avec précision qui assurent un alignement correct pour protéger les réticules lors des étapes de lithographie ultérieures. De plus, leur faible encombrement permet une intégration transparente dans les environnements restreints de votre salle blanche, sans compromettre les performances.

En résumé, les robots Stäubli constituent une référence exemplaire en matière d'équipements d'automatisation répondant aux normes rigoureuses de l'industrie des semi-conducteurs.