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Fabmatics, spécialiste expérimenté de l’automatisation basé à Dresde (Allemagne), propose la solution parfaite pour le stockage de plaquettes de silicium en conditions salle blanche. Celle-ci intègre un robot six axes de Stäubli présentant la spécification Super Cleanroom.
Une société spécialisée dans l’automatisation de l’industrie des semi-conducteurs a mis au point un concept impressionnant pour le stockage provisoire de plaquettes dans des conditions de salle blanche. Dans ce système innovant, un robot Stäubli Cleanroom effectue des tâches de manipulation complexes.
Les dimensions des semi-conducteurs à la surface d’une plaquette de silicium sont généralement mesurées en nanomètres. Dans ces conditions, il va de soi que toute particule étrangère, aussi petite soit-elle, peut nuire au fonctionnement de la micropuce. C’est pourquoi la centaine d’étapes de la production se déroule en salle blanche.
Lorsque les plaquettes sont stockées temporairement, elles doivent également être conservées dans des conditions de salle blanche. C’est là qu’intervient le CubeStocker de Fabmatics. Au cœur du système se trouve un TX2-90XL Cleanroom monté sur un portique à deux axes, qui assure le stockage et le prélèvement avec une efficacité sans faille et sans contamination.
Le CubeStocker est un système de stockage entièrement automatisé pour les supports sur lesquels les plaquettes (au maximum 25) sont transportées et stockées. Un CubeStocker peut accueillir 200 supports. Un système de convoyeur longeant le plafond de la salle blanche dépose et récupère automatiquement les supports dans les différents emplacements de l’unité de stockage.
La particularité du CubeStocker employé ici est qu’il fonctionne dans son propre environnement de salle blanche ISO 3. Les plaquettes sont ainsi stockées temporairement dans des conditions de propreté absolue avant l’étape de traitement suivante ou entre les cycles de test, sans aucun risque de contamination.
La manipulation des supports de plaquettes est effectuée par un robot six axes pour salle blanche de Stäubli. L’équipe de concepteurs de Fabmatics a opté pour un Stäubli TX2-90XL avec une portée de 1 450 mm et une spécification Super Cleanroom (SCR) qui permet son utilisation dans des environnements de salle blanche de classe ISO 2. Ce robot se distingue également par son extrême fluidité, due non seulement à sa technologie d’entraînement brevetée de haute précision, mais aussi aux performances supérieures de son contrôleur CS9.
Pourquoi des exigences aussi élevées quant aux performances du robot ? Martin Däumler, responsable du développement des produits chez Fabmatics, donne une explication : « En termes simples, les plaquettes sont fragiles et la valeur des 25 plaquettes dans un support se situe quelque part entre 100 000 euros et le coût d’une maison familiale. Par conséquent, une manipulation sans risque et sans vibration ainsi qu’un positionnement précis dans la plage submillimétrique doivent être garantis en toutes circonstances. »
