Wafer- und Panel-Bearbeitung

Die speziell entwickelten Supercleanroom (SCR) Sechsachsroboter sind für die strengen Anforderungen in Reinraum-Umgebungen konzipiert. Sie erfüllen die Normen ISO 14644-1 Klasse 2 bzw. FED209E Unterklasse 1. Die Maschinen weisen einen komplett gekapselten Arm aus Polyurethan mit spezieller Beschichtung auf und zeichnen sich durch beeindruckende Beweglichkeit auf engstem Raum aus. Die SCR-Roboter von Stäubli bieten im Vergleich zu anderen Robotern für die Waferfertigung mehr Flexibilität, eine höhere Nutzlast sowie eine größere Reichweite. Damit erfüllen sie sämtliche Anforderungen für das Handling von Wafern, Fotomasken, Carriern und Kassetten. Dank des geringen Platzbedarfs der Roboter lässt sich zudem wertvoller Bauraum in den Spezialmaschinen einsparen.