晶圆和面板加工

在半导体制造中，晶圆和光掩模处理环节十分关键，达到高水平的洁净度、精准度和可靠性是必要条件。史陶比尔机器人充分考虑到受控环境的需求，精心设计以满足您的严格要求。我们的机器人旨在将微粒散发量降至最低——这是一个关键因素，因为任何微粒都可能对您的生产良率产生重大影响。

例如，在掩模保护膜的安装过程中，机器人的精度就显得尤为重要。史陶比尔机器人在执行这项精细任务时表现出色，其精确控制的动作可确保正确对准，从而保护光罩，为后续的光刻步骤做好准备。此外，这些机器人结构紧凑，占地面积小，这意味着它们可以无缝集成到洁净室空间有限的环境中，同时不影响性能。

总之，史陶比尔机器人为符合半导体行业严格标准的自动化设备提供了一个极具代表性的范例。光掩模搬运

无论是涂覆光罩/光掩模、安装保护膜、清洁还是检查光掩模，史陶比尔机器人都表现尤为出色。它们能够实现极低振动、平稳运动轨迹和高路径精度，确保每一个步骤的精准性。同时，史陶比尔机器人可以达到最高兼容 ISO 2 级洁净度标准，满足半导体制造过程中最高等级的洁净要求，为您的生产良率提供可靠保障。