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Der Transport von Wafern in die FAB ist eine delikate Angelegenheit. Damit die wertvolle Fracht keinen Schaden erleidet, werden die Front Opening Shipping Boxen, kurz FOSB, aufwendig Bag-in-Bag verpackt. Ein bayerisches Unternehmen hat diesen komplexen Verpackungsvorgang vollautomatisiert und nutzt in seinen Anlagen zwei Stäubli Reinraumroboter.
Die Verpackung von Wafern in sogenannte FOSB, das Kürzel steht für Front Opening Shipping Boxen, ist ein aufwendiger Prozess unter Reinraumbedingungen. Um menschliche Eingriffe dabei zu vermeiden, hat ein bayerisches Unternehmen eine vollautomatische Lösung entwickelt, bei der Stäubli Reinraumroboter die komplette Handhabung der Boxen übernehmen.
Die manuelle Verpackung der bis zu zehn Kilogramm schweren FOSB zählt zu den körperlich sehr anstrengenden Tätigkeiten. Die Beschäftigten müssen zunächst den korrekten Sitz der Wafer in der Box überprüfen, danach kontrollieren, ob die diversen Anbauteile am FOSB richtig montiert wurden und zu guter Letzt die schwierige Verpackung mit innerem und äußerem Beutel erledigen – das alles unter Reinraumbedingungen und in Cleanroom-Anzügen. Da war es nur folgerichtig, nach einer vollautomatischen Lösung zur Übernahme dieser belastenden Tätigkeit zu suchen.
Der Hightech-Sondermaschinenbauer cts im malerischen Ort Burgkirchen, nahm sich dieser anspruchsvollen Aufgabe an. Dabei stellte das Unternehmen mit seinen mehr als 350 Beschäftigten seine Innovationskraft mit der Entwicklung des AutoBagging Tool, kurz ABT, einmal mehr unter Beweis.
Was es mit dem ABT auf sich hat, bringt Alfred Pammer, Prokurist bei cts auf den Punkt: „Beim ABT handelt es sich um eine komplexe Roboterzelle mit zwei reinraumtauglichen Stäubli Sechsachsrobotern, die vollautomatisch die komplette Bag-in-Bag-Verpackung der mit Wafern bestückten FOSB-Behälter übernimmt. Diese wegweisende Lösung ersetzt den zum Teil immer noch in Handarbeit ausgeführten Verpackungsvorgang und bietet dabei ein entscheidendes Plus an Prozesssicherheit, Effizienz und Qualität.“ Um der permanent steigenden Nachfrage nach dieser Lösung gerecht werden zu können, hat cts vor kurzem eine komplette neue, hochmoderne Fertigung aufgebaut.
Wie schnell, einfach und effizient die vollautomatische Verpackung mit den zwei Stäubli Reinraumrobotern vom Typ TX2-160 erfolgt, zeigt sich beim Blick auf die kompakte Komplettzelle von cts, in die alle Komponenten wie Verpackungsstationen, Prüfkammern, Roboter, Visionsysteme, Drucker und dergleichen mehr integriert sind.
Zunächst werden die mit den Wafern bestückten Behälter von einem Overhead Hoist Transportsystem, kurz OHT, bereitgestellt und der Anlage über ein Einlaufband zugeführt. Die im Normalfall mit 25 Wafern bestückten FOSB durchlaufen auf ihrer Reise durch die Anlage insgesamt 15 Stationen, ehe sie Bag-in-Bag verpackt und nach aufwendigen Qualitätsprüfungen wieder ausgeschleust werden. Die beiden Stäubli Sechsachser übernehmen dabei die komplette Handhabung der FOSB und gehen dabei ebenso dynamisch wie präzise zu Werke.
Die Anlage gewährleistet nicht nur eine signifikante Qualitätssteigerung sowie eine Erhöhung der Prozesssicherheit, sondern steht auch für einen deutlich erhöhten Output. Pro Monat kann das AutoBaggingTool ABT einen Durchsatz von bis zu 8.000 FOSB erreichen. Ein weiterer gewaltiger Vorteil der Anlage besteht darin, dass sie eine Vielzahl an FOSB-Formaten mit unterschiedlichen Anbauteilen handhaben kann. Aufgrund der Flexibilität der Roboter kann ABT nahezu alle Varianten ohne jedwede Umrüstvorgänge verpacken. Ein Alleinstellungsmerkmal, das Kunden in aller Welt schätzen.
