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従来のBSF/P-PERCセルでも、最新のNタイプ/タンデムセルでも、ストーブリは、すべてのセルフォーマット(M12/210mmセルまで)や、さまざまなハンドリング方法(バッチまたはピース)、そしてプロセス(テクスチャリング、拡散、PECVD、選別まで)に適したロボットの製品ポートフォリオを取り揃えています。TS2およびTX2シリーズの4軸および6軸ロボットは、特にその優れた駆動技術により、ダイナミクス、精度、信頼性の分野で世界をリードしています。同時に、これらのロボットは貴重な荷物を細心の注意を払って扱うため、ウェーハの破損やその他の損傷がほとんど起こりません。また、当社のロボットはそのカプセル化された設計により、模範的なクリーンルームの適合性が保証されます。
最初のステップとして、TS２ロボットにより、ビジョンコントロールシステム上でのウェーハの迅速なローディング・アンローディングが可能になります。
ストーブリTX2-140/160ロボットが、テクスチャリング用ウェーハが入ったカセットを移動します。
一括処理されたウェーハは、TX2ロボットによりカセットから石英ボートまで、ホウ素や燐を拡散するために移動されます。
ストーブリのTX2 6軸ロボットは、PECVDプロセスおよびLPCVDプロセスのセルのバッチ処理に最適なソリューションです。その高速移動時の高い精度と滑らかな軌道により、セル製造業者から広く評価されています。
ストーブリのTS2ロボットは、従来のテクスチャリング/ウェットベンチや、最新のHJTセルのPECVD/PVDに関わらず、全インラインプロセスにおいて、柔軟で高速なローディング/アンローディングを行うための課題をすべて満たすことができます。
最終的に太陽電池は検査され、選別されます。高速なTS2ロボットを使用することで、ハンドリング作業を最短の遅延と最低の破損率で進められます。
精度
これにより、機器の破損率とダウンタイムが大幅に短縮されます。
スムーズな軌道
細心の注意を払ってセルは取り扱うことができます。
効率
高いスループットはセルメーカーの鍵です。
長期の信頼性
ロボットは、何年にもわたって使用した後、常に最高のパフォーマンスを発揮する必要があります。
小さい設置面積
大きなスループットを得るためには、小さなスペースを利用する必要があります。
コネクティビティ
ロボットは単独で動くわけではありません。トラッキングデバイス、イメージングデバイスがすべて接続できます。
