Traitement des masques photoélectriques

La manipulation d’un photomasque est l’une des étapes les plus cruciales du traitement des semi-conducteurs. Cette petite mais précieuse pièce contient le plan du motif du circuit à imprimer sur la plaquette pendant la photolithographie. La précision est de la plus haute importance dans ce processus.

Pour les tâches extrêmement délicates telles que l’application du réticule/photomasque, le montage de la pellicule, le nettoyage et l’inspection du photomasque, les robots Stäubli offrent le niveau de vibration le plus bas, des trajectoires fluides et une grande précision de trajectoire. Ils offrent également une compatibilité ISO de classe 2 pour le plus haut niveau de propreté.