Semi-conducteurs

Nos solutions robotiques pour la salle blanche allient précision, vitesse et propreté

Les industries de l’électronique et des semi-conducteurs sont particulièrement exigeantes quand il s’agit de précision, de vitesse et de réduction des émissions de particules. Pour répondre à leurs besoins en robotique, Stäubli propose une ligne ultra-haute performance de bras robotiques pour salle blanche pour des applications hautement sensibles. Nos robots peuvent manipuler des wafers, des FOUP/cassettes, ainsi que des photomasques et panneaux dans toute la chaîne de valeur de production avec une précision exceptionnelle, une vitesse élevée et des trajectoires en douceur.

Photomasque

Les robots salle blanche SCR (Stäubli Super Cleanroom) relèvent parfaitement les défis des manipulations de photomasques pour des processus tels que le nettoyage et l’inspection.

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Support de Wafers

La manutention, le transport et le stockage du support de wafer (FOUP ou cassette) dans les FAB ont pu être parfaitement gérés avec les robots Stäubli grâce à leur haute précision et propreté.

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Wafers et Panneaux

Stäubli offre la plus grande rapidité, flexibilité et fiabilité pour la manipulation de wafers (individuellement ou par lots) ou de panneaux dans les processus complexes de fabrication de semi-conducteurs, y compris le polissage, la gravure, la lithographie, le nettoyage, etc.

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Exigences des utilisateurs de robotique

Propreté

Compatible avec la salle blanche ISO2 évitant tout dommage potentiel par des particules fines du robot.

Précision et trajectoire fluides

Produits à manipuler avec le plus grand soin.

Fiabilité à long terme

Parce que le robot doit toujours avoir les meilleures performances après des années d’utilisation.

Faible encombrement

Parce que vous devez réduire le volume de production et optimiser la productivité.

Nos produits dédiés

Conçus pour les semi-conducteurs

Les robots 6 axes pour salles blanches (Cleanroom) sont conçus pour répondre aux exigences strictes des salles blanches. Ils répondent aux normes ISO 14644-1 classe 2/3 ou FED-STD-209 E sous-classe 1 et comprennent un bras entièrement encapsulé avec une surface en polyuréthane brillante, capable d’une dextérité élevée. Comparés aux autres robots pour wafer, les robots Stäubli offrent une plus grande flexibilité et des charges utiles et rayons d'actions supérieurs, en relevant parfaitement les défis de la manipulation de wafer/photomasque/cassette. Compacts, ils aident également à gagner un espace précieux dans les machines dédiées.

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Semi-conducteur : transport de machine

AGV version salles blanches destiné à répondre aux exigences rigoureuses de l’industrie des semi-conducteurs.

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Membre de SEMI

En tant que membre de SEMI, Stäubli Robotics s'engage à collaborer avec les fabricants d'équipements de semi-conducteurs du monde entier, dans le but de fournir des solutions d'automatisation optimales.

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