Traitement des wafers et des panneaux

Les robots 6 axes pour salles blanches (Cleanroom) sont conçus pour répondre aux exigences strictes des salles blanches. Ils répondent aux normes ISO 14644-1 classe 2/3 ou FED-STD-209 E sous-classe 1 et comprennent un bras entièrement encapsulé avec une surface en polyuréthane brillante, capable d’une dextérité élevée. Comparés aux autres robots pour wafer, les robots Stäubli offrent une plus grande flexibilité et des charges utiles et rayons d'actions supérieurs, en relevant parfaitement les défis de la manipulation de wafer/photomasque/cassette. Compacts, ils aident également à gagner un espace précieux dans les machines dédiées.