Belgien EN | FR | NL
Bulgarien | EN | BG
Dänemark | EN
Deutschland | EN | DE
Estland | EN
Finnland | EN
Frankreich | EN | FR

GriechenlandEN
Italien | EN | IT
Luxemburg | EN | FR
Niederlande | EN | NL
Norwegen | EN
Österreich | EN | DE
Polen | EN | PL

Portugal | EN | PT
RumänienEN | RO
Schweden | EN
Schweiz | EN | DE | FR
Serbien | EN | SR
Slowakei | EN | SK
Slowenien | EN | SL

Spanien | EN | ES
Tschechische Republik | EN | CS
Ungarn | EN | HU
Vereinigtes Königreich (GB) | EN

Argentinien | EN
Bolivien | EN
Brasilien | EN | BR
ChileEN
EcuadorEN

Kolumbien | EN
Mexiko | EN
Peru | EN
USA | EN
Venezuela | EN


Bangladesch EN
China | EN | 简体中文
Hong Kong SAR EN | 繁體中文
Indien | EN
Indonesien | EN | ID

Israel | EN
Japan | EN | JA
Pakistan | EN
Singapur | EN
Südkorea | EN | 한국어

Taiwan (Chinese Taipei) | EN | 繁體中文
Thailand | EN | TH
Türkei | EN | TK
Usbekistan | EN
Vietnam | EN | VN

ÄgyptenEN
Australien | EN
MarokkoENFR
SüdafrikaEN

Reinräume

Cleanroom-Roboterbaureihe

Stäubli Reinraumroboter erfüllen die ISO 14644-1 Klasse 2 (SCR-Version) und Klasse 4 (CR-Version) und verfügen über einen komplett gekapselten Arm aus Polyurethan mit spezieller glänzender Beschichtung. Im Vergleich zu anderen Wafer-Handling-Robotern bieten die Stäubli SCR- und CR-Sechsachser eine größere Flexibilität, eine höhere Tragfähigkeit und eine größere Reichweite und sind damit perfekt für die die Anforderungen beim Handling von Wafern, Fotomasken, Carriern und Kassetten geeignet. Der geringe Platzbedarf des Roboters hilft darüber hinaus, wertvollen Platz in Spezialmaschinen einzusparen.

Einfach zu reinigen

Glatte Oberfläche

Kein Rückhaltebereich

Sechskant-Flachkopfschraube mit Dichtung*

Für den besten Reinheitsgrad

Spezifische Lackier- und Montageverfahren

Minimale Partikelemission (ISO-Klasse 2/4 Konformität)

Spezielle Reinraum-Lippendichtungen

Kontaktieren Sie unsere Spezialisten oder erhalten Sie weitere technische Informationen

Hauptanwendungen im Reinraum

Technische Daten

Sechsachsroboter
Typ

TX2-60 / 60L

TX2-90 / 90L / 90XL

TX2-140

TX2-160 / 160L

Anzahl Freiheitsgrade6666
Traglast (kg)4.5 / 3.7
14 / 12 / 74040 / 25
Reichweite (mm)670 / 920

1000 / 1200 / 1450

1510

1710 / 2010

Wiederholgenauigkeit 

(mm)

±0.02

±0.02

±0.015

±0.02/±0.03

Reinraum Standard:

ISO 14644-1
FS 209E

 

Klasse 2
Subklasse 1

 

Klasse 2
Subklasse 1

 

Klasse 4

Klasse 10

 

Klasse 4

Klasse 10

Schutzklasse

(*Handgelenk)

IP65

(*IP67)

IP65

(*IP67)

IP65

(*IP67)

IP65

(*IP67)

Montagemöglichkeiten360° Boden/Decke
Stäubli SteuerungCS9CS9 MP