晶圆载具处理、运输和储存

晶圆载具搬运是一项极其重要且需谨慎处理的任务，因为搬运的物品不仅易碎且价值高昂。满载的晶圆载具搬运尤为棘手，如执行FOUP和其他类型晶圆盒的搬运工作。鉴于半导体工厂前道工序处理涉及多个步骤，我们必须确保晶圆能够快速且安全地从一台加工机器转移到另一台机器上。此外，晶圆载具还承担着临时存储晶圆的重要角色，因此对其搬运过程的精确度和安全性有着极高的要求。

史陶比尔洁净室机器人，专为满足洁净室严苛要求而精心打造的解决方案。不仅确保了晶圆载具搬运与存储过程的高速与可靠性，还显著提升了整体产量，同时将颗粒排放降至最低，为半导体制造提供了更为洁净的工作环境。此外，其紧凑的布局设计也有效节省了制造设备的空间，让您的生产线更加高效、有序。