半导体生产中的机器人

挑战

机器人辅助晶圆存储

史陶比尔公司，致力于满足半导体行业自动化需求开发了用于在洁净室条件下临时储存晶圆的创新系统。其中，史陶比尔洁净室机器人负责执行复杂的搬运任务。

硅晶圆表面上的半导体尺寸通常以纳米为单位。在这种情况下，任何微小杂质粒子都会损害微芯片功能。 这就是为何约 100 个的单独生产步骤均需在洁净室环境中进行。

当晶圆需临时储存时，同样须在洁净室条件下保存。这就是 Fabmatics CubeStocker 的用武之地。该系统的核心是安装在双轴门架上的史陶比尔超净室 TX2-90XL，它可以平稳高效地处理储存和检索程序，且不会造成任何污染。

解决方案

二合一： 用于测试晶圆的中间缓冲器或储存系统

CubeStocker 是一种全自动储存系统，用于运输和储存晶圆（最大容量为 25 个）的载体。 一个 CubeStocker 可容纳 200 个载体。 沿洁净室天花板运行的传送系统会自动将载体送入和送出储料单元中的各个储存位置。

此处使用的 CubeStocker 的特别之处在于，其可在自身的 ISO 3 洁净室环境中运行。 因此，在下一个加工步骤之前或测试周期之间，晶圆可以在绝对洁净的条件下暂时存放，且无任何污染风险。

客户应用

“超级洁净室”机器人可以保护贵重货物

晶圆载体的搬运操作由史陶比尔六轴洁净室机器人执行。Fabmatics 设计团队选择了超净室 (SCR)规格的 1450 mm 史陶比尔 TX2-90XL，可用于 ISO 二级洁净室环境。 该机器人还因其极其平稳的运行性能而斩获高分，这不仅归功于其专有的高精度驱动技术，还得益于史陶比尔 CS9 机器人控制器的卓越性能。

为何洁净室对机器人的性能要求如此之高？ Fabmatics 产品开发主管 Martin Däumler 解释称： “很简单，晶圆极其易碎，一个载体中的 25 个晶圆价值在 100,000 欧元和一个家庭住房的成本之间。因此，任何情况下都必须确保无风险、无振动的搬运以及亚毫米范围内的精确定位。”