フォトマスクおよびウェハハンドリングの先進 ソリューション

半導体産業においてウェハおよびフォトマスクのプロセスが重要な役割を果たす中、最高水準の衛生性、精度、そして信頼性を実現することが求められます。ストーブリのロボットはその要件を満たすよう設計されており、クリーンな環境を実現します。どんなに小さなパーティクルでも混入すれば生産歩留まりに重大な影響を及ぼす可能性があるため、ストーブリのロボットは発塵を極限まで抑えるよう設計されています。例えば、マスク・ペリクルの取り付けに関しては、ロボットの精度はきわめて重要です。ストーブリのロボットは、繊細な作業を高精度で実現し、適切な配置を確保して続くリソグラフィ工程のためのレチクルを保護します。さらに、ストーブリのロボットはコンパクトな設計が特徴であり、クリーンルームの限られた空間でも生産性を低下させることなくスムーズに導入できます。つまり、ストーブリのロボットは、半導体産業の厳しい要件を満たすのに最適な自動化ソリューションです。