半導体製造の生産性を向上させるStäubliクリーンルーム ロボットソリューション

スーパークリーンルーム(SCR)6軸ロボットは、クリーンルームの厳しい要件を満たすように設計されています。ISO 14644-1クラス2またはFED209Eサブクラス1の基準を満たし、光沢のあるポリウレタン表面の完全密閉型のアーム構造で、高い汎用性があります。他のウェーハロボットと比較して、ストーブリのSCRシリーズは、柔軟性や高い可搬質量とリーチ範囲に優れ、ウェーハ/フォトマスク/キャリア/カセットの取り扱いの課題に完全に対応できます。コンパクトな設置面積は、専用マシンの貴重なスペースを有効活用できます。 

SEMIの一員として、ストーブリ・ロボティクスは世界中の半導体装置メーカーとの協力に尽力し、今日の半導体製造業界が直面する課題に対処する最適な自動化ソリューションの提供を目指しています。