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半導体

ストーブリのクリーンルームロボットは、精度、スピード、清潔さを兼ね備えています

エレクトロニクスおよび半導体業界には、精度、速度、および少ない発塵という高い要件が求められます。これらのニーズを満たすために、ストーブリは、厳しい管理が求められるアプリケーション向けに特別に設計されたクリーンルームロボットのラインナップを提供しています。ストーブリのロボットは、半導体製造プロセス全体を通じて、シリコンウェーハ、ウェーハキャリア、フォトマスク、パネルを非常に高い精度、高速、スムーズな動作で扱うことができます。

フォトマスク

ストーブリのスーパークリーンルーム(SCR)ロボットは、洗浄や検査などのプロセスにおけるフォトマスクの取り扱いの課題に完全に対応します。

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ウェハキャリア

高い精度とクリーン性能を持つストーブリのロボットを使うことで、FAB内のウェーハキャリア(FOUPまたはカセット)のハンドリング、搬送、保管等を理想的に処理することができます。

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ウェハとパネル

ストーブリは、研磨、エッチング、リソグラフィー、クリーニングなど、半導体製造の複雑なフロントエンドプロセスにおいて、ウェーハ(個別またはバッチ)またはパネルの取り扱いに最高の速度、柔軟性、信頼性を提供します。

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ロボティクスユーザーが求める要件

清潔

ISO2クリーンルームに対応しており、ロボットからの薄い粒子による損傷を防ぎます。

精密で滑らかな軌道

細心の注意を払って取り扱ってください。

長期的な信頼性

長期間使用しても、常に最高のパフォーマンスを発揮します。

低フットプリント

なぜなら、大きなスループットを得るためには、小さなスペースを活用する必要があるからです。

製品ラインアップ

半導体用途向けに設計

スーパークリーンルーム(SCR)6軸ロボットは、クリーンルームの厳しい要件を満たすように設計されています。ISO 14644-1クラス2またはFED209Eサブクラス1の基準を満たし、光沢のあるポリウレタン表面の完全密閉型のアーム構造で、高い汎用性があります。他のウェーハロボットと比較して、ストーブリのSCRシリーズは、柔軟性や高い可搬質量とリーチ範囲に優れ、ウェーハ/フォトマスク/キャリア/カセットの取り扱いの課題に完全に対応できます。コンパクトな設置面積は、専用マシンの貴重なスペースを有効活用できます。 

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半導体 - 機械搬送

半導体業界の厳しいニーズに対応するモバイルロボットクリーンルームバージョン。

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SEMIメンバー

SEMIの一員として、ストーブリ・ロボティクスは世界中の半導体装置メーカーとの協力に尽力し、今日の半導体製造業界が直面する課題に対処する最適な自動化ソリューションの提供を目指しています。

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