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半導体

当社のクリーンルームロボットは、精度、スピード、清潔さを兼ね備えています

エレクトロニクスおよび半導体業界には、精度、速度、および低粒子放出に対する高い要件があります。これらのニーズを満たすために、ストーブリは、高感度アプリケーション向けに特別に設計されたクリーンルームロボットアームのラインを提供しています。当社のロボットは、半導体製造プロセス全体を通じて、シリコンウェーハ、ウェーハキャリア、フォトマスク、パネルを卓越した精度、高速、スムーズな動きで扱うことができます。

フォトマスク

ストーブリのスーパークリーンルーム(SCR)ロボットは、洗浄や検査などのプロセスにおけるフォトマスクの取り扱いの課題に完全に対応します。

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ウェハキャリア

FAB内のウェーハキャリア(FOUPまたはカセット)の取り扱い、輸送、保管は、その高い精度と清浄度により、ストーブリのロボットで完璧に処理することができます。

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ウェハとパネル

ストーブリは、研磨、エッチング、リソグラフィー、クリーニングなど、半導体製造の複雑なフロントエンドプロセスにおいて、ウェーハ(個別またはバッチ)またはパネルの取り扱いに最高の速度、柔軟性、信頼性を提供します。

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ロボティクスユーザーの要件

清潔

ISO2クリーンルームに対応しており、ロボットからの薄い粒子による損傷を防ぎます。

精密で滑らかな軌道

細心の注意を払って取り扱ってください。

長期的な信頼性

なぜなら、ロボットは長年の使用後、常に最高のパフォーマンスを発揮するはずだからです。

低フットプリント

なぜなら、大きなスループットを得るためには、小さなスペースを活用する必要があるからです。

当社の専用製品

半導体向けに設計

スーパークリーンルーム(SCR)6軸ロボットは、クリーンルームの厳しい要件を満たすように設計されています。ISO 14644-1クラス2またはFED209Eサブクラス1の基準を満たし、光沢のあるポリウレタン表面を備えた完全密閉型のアームを備えており、高い器用さを備えています。他のウェーハロボットと比較して、ストーブリのSCRロボットは、より大きな柔軟性とより高い可搬重量とリーチを提供し、ウェーハ/フォトマスク/キャリア/カセットの取り扱いの課題に完全に対応できます。コンパクトなアームフットプリントは、専用マシンの貴重なスペースを節約するのにも役立ちます。 

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半導体 - 機械輸送

半導体業界の厳しいニーズに対応するAGVクリーンルームバージョン。

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SEMIメンバー

SEMIの一員として、ストーブリ・ロボティクスは世界中の半導体装置メーカーとの協力に尽力し、今日の半導体製造業界が直面する課題に対処する最適な自動化ソリューションの提供を目指しています。

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半導体パンフレット(PDF)

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