ウェーハキャリアの取り扱い、輸送、保管

FOUP、SMIF、その他のタイプのオープンカセットなどのウェーハキャリアの取り扱いは、内容物が壊れやすく価値が高いため、デリケートな作業です。FABのフロントエンド処理には複数のステップが含まれるため、ウェーハを1つのプロセスマシンから次のプロセスマシンに迅速かつ安全に転送する必要があります。また、キャリアはウェーハの一時保管にも使用されます。

ストーブリのクリーンルームロボットと統合されたシステムは、クリーンルームの厳しい要件に合わせて特別に設計されており、ウェーハキャリアの取り扱いと保管において高速かつ信頼性の高いものを確保することができます。これにより、粒子の排出を最小限に抑えながら、より高いスループットを実現できます。さらに、コンパクトな設置面積により、製造装置のスペースを節約できます。