- ヨーロッパ
- 南北アメリカ
- アジア / 中東
- アフリカ / オセアニア
ストーブリのクリーンルームロボットはISO14644-1の認証取得済み、クラス2(SCRバージョン)からクラス4(CRバージョン)に準拠しており、光沢のある滑らかな表面の完全密閉型アームが特徴で、高い汎用性を実現します。ストーブリのSCRおよびCRロボットは、他のウェハー搬送ロボットと比較しても、柔軟性、可搬質量、リーチ範囲において優れた性能を持ち、ウェハ/フォトマスク/キャリア/カセットのハンドリングにおける課題を解決します。アーム設置面積もコンパクトで、小さなスペースにも導入可能です。
| 6軸ロボット | ||||
|---|---|---|---|---|
| モデル |
|
|
|
|
| 自由度 | 6 | 6 | 6 | 6 |
| 可搬質量(kg) | 4.5 / 3.7 | 14 / 12 / 7 | 40 | 40 / 25 |
| リーチ範囲(mm) | 670 / 920 | 1000 / 1200 / 1450 | 1510 | 1710 / 2010 |
| 繰返し精度(mm) | ±0.02 | ±0.02 | ±0.015 | ±0.02 / ±0.03 |
クリーンルーム 標準: ISO 14644-1の |
クラス2 |
クラス2 |
クラス4 |
クラス4 |
保護クラス (※手首部) | IP65の (※IP67) | IP65の (※IP67) | IP65の (※IP67) | IP65の (※IP67) |
| 設置方法 | 360°取り付け可能性 | 床置きまたは天吊り | ||
| ストーブリコントローラー | CS9 | CS9 MP | ||
