半導体製造におけるロボット

タスク

ロボット支援によるシリコンウェーハの保管

半導体業界の自動化ニーズの供給を専門とする企業は、クリーンルーム条件下でのウェーハの中間保管のための印象的なコンセプトを設計しました。この革新的なシステムの中で、ストーブリのクリーンルームロボットが複雑なハンドリング作業を行います。

シリコンウェーハの表面上の半導体の寸法は、通常、ナノメートルで測定されます。このような状況下では、どんなに小さな異物でもマイクロチップの機能を損なう可能性があることは明らかです。そのため、100段階ほどの生産工程がクリーンルーム環境で行われます。

ウェーハを一時的に保管する必要がある場合は、同様にクリーンルーム条件下で保管する必要があります。そこで登場するのがFabmaticsのCubeStockerです。システムの心臓部には、2軸ガントリーに取り付けられたストーブリのスーパークリーンルームTX2-90XLがあり、スムーズな効率で汚染のない保管と取り出しを行います。

解決

2 in 1:テストウェーハ用の中間バッファーまたはストレージシステム

キューブストッカーは、ウェーハ(最大容量25)を搬送・保管するキャリア用全自動保管システムです。1台のCubeStockerに200個のキャリアを収納できます。クリーンルームの天井に沿って走るコンベアシステムは、ストッカーユニット内の個々の保管場所にキャリアを自動的に出し入れします。

ここに配備されたCubeStockerの特徴は、独自のISO3クリーンルーム環境で動作することです。したがって、ウェーハは、汚染のリスクなしに、次の処理ステップの前またはテストサイクルの間に、完全にクリーンな状態で一時的に保管されます。  

お客様の使用状況

「スーパークリーナー」ロボットが貴重な貨物を保護

ウェーハキャリアのハンドリングは、ストーブリの6軸クリーンルームロボットによって行われます。ファブマティクスの設計チームは、ISOクラス2のクリーンルーム環境での使用に適した 、スーパークリーンルーム(SCR)仕様のリーチ1,450mmのストーブリTX2-90XLを選択しました。また、このロボットは、独自の高精度駆動技術だけでなく、ストーブリの ロボットコントローラCS9の優れた性能により、非常にスムーズな走行でも高い評価を得ています。

なぜ、ロボットの性能にこれほど大きな要求が課せられるのか。Fabmaticsの製品開発責任者であるMartin Däumler氏は、「簡単に言うと、ウェーハは壊れやすく、キャリア内の25枚のウエハーの価値は、100,000ユーロと家族の家のコストの間にあります。したがって、リスクや振動のないハンドリングと、サブミリメートル範囲での正確な位置決めは、あらゆる状況下で保証されなければなりません。」