クリーンルームロボットによる全自動FOSB袋詰め

タスク

ウェーハのFOSBへのパッケージング

ウェーハをFOSB(フロントオープニングシッピングボックス)に梱包することは、クリーンルーム条件下で行われる複雑なプロセスです。人的要因を取り除くために、バイエルン州のある企業は、2台のストーブリ製クリーンルームロボットが箱のエンドツーエンドのハンドリングを担当する完全自動化ソリューションを開発しました。

FOSBの手作業による包装は、各重量が最大10キログラムで、非常に肉体的に厳しい作業です。従業員は、まずウェーハが箱に正しく積み重ねられていることを確認し、次にさまざまなアタッチメントがFOSBに正しく取り付けられていることを確認し、クリーンルーム条件下で、面倒なクリーンルームのオーバーオールで操作しながら、内側と外側の袋詰めで厳格なプロセスを締めくくる必要があります。したがって、この面倒なタスクを引き継ぐために完全に自動化されたソリューションを探すのは当然のことでした。

絵のように美しいブルクキルヒェンの町に拠点を置くハイテク専門機械メーカーcts GmbHは、この課題に立ち向かいました。350人以上の従業員を擁する同社は、AutoBaggingツール(ABT)の開発により、そのイノベーションの腕前を再び示しました。

解決

手動ではなく全自動

ctsのシニアボードメンバーであるAlfred Pammer氏は、システムの目的と性質を次のように説明しています:「ABTは、クリーンルーム対応のStäubli 6軸ロボット2台を搭載した複雑な全自動ロボットセルです。このロボットセルは、貴重なウェーハを積んだFOSBコンテナのバッグインバッグパッケージングを完全に処理します。この先駆的なソリューションは、場合によっては手作業で行われている従来の袋詰めプロセスに取って代わり、プロセスの信頼性、効率、品質の点で明確な利点を提供します。」独自のソリューションに対する需要の高まりに対応するため、ctsは最近、まったく新しい最先端の生産施設を設立しました。

包装ステーション、検査室、ロボット、ビジョンシステム、プリンターなどのすべてのコンポーネントが統合されているctsによって設計および製造された完全なコンパクトセルをざっと見ると、2台のストーブリTX2-160クリーンルームロボットで全自動包装がどれほど迅速、簡単、効率的に行われるかがわかります。

ウェーハを装填したコンテナは、オーバーヘッドホイストトランスポート(OHT)システムによって到着し、インフィードコンベアを介してシステムに供給されます。FOSBは通常、25枚のウェーハを装填し、システムの15のステーションを通過して移動を開始し、そこで二重に袋詰めされてからアウトフィードコンベアに堆積されます。ストーブリの2台の6軸ロボットは、FOSBのエンドツーエンドのハンドリングを担当し、その精度と同様にダイナミックです。

お客様の利用状況

最高レベルの品質、効率、プロセス信頼性

このシステムは、品質とプロセスの信頼性の大幅な向上を保証するだけでなく、生産量も大幅に増加させます。ABT AutoBagging Toolは、月間最大8,000 FOSBのスループットを達成できます。このシステムのもう一つの大きな利点は、さまざまなアタッチメントを持つさまざまなFOSB形式を処理できることです。ストーブリ社のロボットの柔軟性とcts社が自社開発したグリッパー技術により、ABTは時間のかかる段取り替えプロセスなしでほぼすべてのバリエーションを袋詰めすることができ、これは世界中のお客様から高く評価されています。