フォトマスク処理

フォトマスクの取り扱いは、半導体プロセスにおける最も重要なステップの1つです。この小さいながらも貴重な作品には、フォトリソグラフィー中にウェーハに印刷される回路パターンの設計図が含まれています。このプロセスでは、精度が最も重要です。

レチクル/フォトマスクの貼付、ペリクルの取り付け、フォトマスクの洗浄と検査という非常にデリケートな作業のために、ストーブリのロボットは、最低レベルの振動、スムーズな軌道、高い経路精度を提供します。また、最高レベルの清浄度のためのISOクラス2互換性も提供します。

TX2-60L SCRによるフォトマスクハンドリング

当社の専用製品

半導体向けに設計

スーパークリーンルーム(SCR)6軸ロボットは、クリーンルームの厳しい要件を満たすように設計されています。ISO 14644-1クラス2またはFED209Eサブクラス1の基準を満たし、光沢のあるポリウレタン表面を備えた完全密閉型のアームを備えており、高い器用さを備えています。他のウェーハロボットと比較して、ストーブリのSCRロボットは、より大きな柔軟性とより高い可搬重量とリーチを提供し、ウェーハ/フォトマスク/キャリア/カセットの取り扱いの課題に完全に対応できます。コンパクトなアームフットプリントは、専用マシンの貴重なスペースを節約するのにも役立ちます。

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