使用洁净室机器人实现全自动 FOSB 封装

挑战

将晶圆封装至 FOSB

将晶圆装入 FOSB（前开式运输盒）是一个复杂的过程，需要在洁净室条件下进行。为消除人为因素，一家巴伐利亚公司开发了一种全自动解决方案，在该解决方案中，由两台史陶比尔洁净室机器人负责对运输盒进行端到端处理。

每个FOSB重达10千克，手动封装十分费力。员工必须先检查晶圆是否正确地堆放在运输盒中，然后检查各种附件是否正确地安装到 FOSB 上，并穿上笨重繁琐的洁净室工作服，在洁净室中完成内外包装等严格工序。因此，迫切需要寻找一种全自动解决方案来接管这项繁重的工作。

位于风景如画的 Burgkirchen 镇的高科技专业机械制造商 cts GmbH 欣然接受了这一挑战。这家拥有 350 多名员工的公司通过开发AutoBagging Tool (ABT) 再次展示了其创新实力。

解决方案

全自动代替人工

cts 高级董事会成员 Alfred Pammer 介绍了该系统的目的和性质：“ABT 是一个复杂的全自动机器人单元，配备了两台与洁净室兼容的史陶比尔六轴机器人，可对装有贵重晶圆的 FOSB 容器进行完整的袋中袋包装。这一开创性的解决方案取代了在某些情况下仍需人工完成的传统装袋过程，在过程可靠性、效率和质量方面具有明显优势。”为满足对其专有解决方案日益增长的需求，cts 最近建立了一个先进的全新生产设施。

快速浏览一下由 cts 设计和建造的完整紧凑型单元，其中集成了包装工作站、检测室、机器人、视觉系统、打印机等所有组件，就会发现两台史陶比尔 TX2-160 洁净室机器人如何快速、轻松和高效地实现全自动包装。

装有晶片的容器通过高架起重运输(OHT) 系统运抵，并通过进料输送机送入系统。FOSB 通常装载 25 片晶圆，然后通过系统的 15 个工位固定运输，晶圆将在这些工位上进行双层装袋，然后再放到出料输送机上。两台史陶比尔六轴机器人负责 FOSB 的端到端处理，既动态又精确。

客户应用

高水平的质量、效率和过程可靠性

该系统不仅确保质量和过程可靠性的显著提升，还大大提升了产量。ABT 自动封装工具的月吞吐量可达 8,000 个 FOSB。该系统的另一个巨大优势是，它可以处理带有不同附件的各种形式的 FOSB。得益于史陶比尔机器人的灵活性和 cts 内部自主研发的夹持技术，ABT 几乎可以封装所有型号的FOSB，且无需耗时的更换工序 - 这一独特优点受到了世界各地客户的青睐。