ウェーハおよびパネル処理

FABでは、ウェーハは何百もの異なるプロセスを経て、以前に設計された正確な微細構造を作成します。これらのプロセスには、酸化、リソグラフィー、蒸着、CMPなどが含まれます。

これらの非常に貴重なウェーハやパネルを、さまざまなプロセスでのロードおよびアンロード中に安全に取り扱うためには、高い清浄度を備えた信頼性の高いロボットアームが必要です。

TX2-60 SCRによるウェーハハンドリング

サクセスストーリー

ロボットがウェーハを丁寧に扱う
SÜSS MicroTecは、高精度のストーブリTX60Lクリーンルームロボットを使用して、高度なコーティングプロセスでウェーハを非常に安全に取り扱うことができます。

当社の専用製品

半導体向けに設計

スーパークリーンルーム(SCR)6軸ロボットは、クリーンルームの厳しい要件を満たすように設計されています。ISO 14644-1クラス2またはFED209Eサブクラス1の基準を満たし、光沢のあるポリウレタン表面を備えた完全密閉型のアームを備えており、高い器用さを備えています。他のウェーハロボットと比較して、ストーブリのSCRロボットは、より大きな柔軟性とより高い可搬重量とリーチを提供し、ウェーハ/フォトマスク/キャリア/カセットの取り扱いの課題に完全に対応できます。コンパクトなアームフットプリントは、専用マシンの貴重なスペースを節約するのにも役立ちます。

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